■型番：MAT-60TSG

SiCのバルク単結晶を試作するために開発した縦型溶融成長炉です。

■型番：MAT-100CG3

チャンバーとヒーターを上下に完全分離し、大きな温度差を得ることができる装置です。

■型番：MAT-80HPC

ガス雰囲気中で高温加熱の試料を加圧できる装置です。